应物理与电子工程学院邀请，4月9日上午，我院物理系83届杰出校友大连理工大学博士生导师王友年教授在西湖校区躬行C楼505会议室作了题为“等离子体物理与半导体芯片制造”的学术报告。报告会由物电学院副院长何娟教授主持，学院部分教师、研究生和本科生参加了本次报告会。

王友年教授以芯片制造的视频简单介绍了涉及芯片制造的工艺和技术难点问题，接下来从等离子体基础知识、等离子体科学发展史、半导体芯片制造工艺、芯片制造工艺中的卡脖子问题等四个方面对等离子体的概念、分类和发展史，等离子体刻蚀技术在芯片制造工艺中的应用，芯片工艺的卡脖子问题，以及面临的机遇和挑战等做了介绍。接着，王教授对大连理工大学射频等离子体物理研究团队进行介绍，揭示了他们在射频等离子体方面取得的重要成果，如电子反弹共振加热、“辉光条纹”现象，实验证实了电磁效应-驻波效应等。互动交流环节，王教授对我院师生提出的问题一一进行了细致解答。整场报告深入浅出，内容丰富精彩，与会师生反映良好，讨论热烈。

王友年，大连理工大学教授、博士生导师。2001-2005为长江学者特聘教授。曾任国务院学位委员会第五、六届学科评议组成员，中国力学学会等离子体科学与专业委员会主任（第五和第六届），国家自然科学基金数理学部学科评审组成员。主要从事射频等离子体物理及载能束与物质相互作用过程等方面的研究，先后主持了国家973计划、重大科技专项、国家磁约束聚变能计划专项及国家自然科学基金重点项目等研究课题，在Physical Review Letters、Applied Physics Letters 等刊物上发表SCI论文200多篇；作为第一完成人分别于2008年和2011获辽宁省和教育部自然科学二等奖；研发了具有自主知识产权的等离子体多物理场耦合仿真软件—MAPS，获得大连市科技进步一等奖，并分别在有关半导体和光伏设备制造公司得到应用；先后培养博士研究生40多名和硕士研究生30多名；编著 《电动力学》和《数学物理方法》教材和译著《射频等离子体物理学》。曾获全国五一劳动奖章，并先后被评为辽宁省劳动模范和大连市劳动模范。

撰稿： 赵书涛； 图片： 叶世海 ；单位审核：何娟 审核发布：陶清