报告人

丁士进

职称

职务

教授

博导

工作单位

复旦大学

报告时间

2016年11月25日

时间：10：00

报告

地点

C楼505

主办单位

物理与电子工程学院

科研处

宣传部

主  题

B

A.校友成才报告    B.学术交流

C.基础教育暨中小学校长论坛

报告题目

原子层淀积技术与微电子器件

报告对象

理工科学生和教师

报告人学术简历

现为复旦大学微电子学院教授（校特聘教授）、博士生导师。2001 年获复旦大学微电子学博士学位。 2001 - 2002年在德国基尔大学做博士后、洪堡学者。2003- 2004年在新加坡国立大学任研究员。2005年加入复旦大学。曾获上海市浦江人才计划、教育部新世纪优秀人才支持计划、上海市技术发明奖。迄今发表SCI期刊论文150余篇，获中国、美国、欧盟发明专利30余项。作为负责人承担国家科技重大专项、863项目和国家自然科学基金项目共8项国家级项目，总经费5000多万元。

报告内容

框架

原子层淀积技术简介；

在高密度金属-绝缘体-金属电容中的应用研究；

在金属氧化物半导体薄膜晶体管及其存储器中的应用研究。